德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺 壓電陶瓷系統(tǒng) 納米定位系統(tǒng) P-611.3OF

德國PI PHYSIK INSTRUMENTE 壓電陶瓷系統(tǒng) 納米定位系統(tǒng) P-611.3OF

X、Y向上的螺距：±5微弧度

θX向上的傾斜（Z向運(yùn)動）：±10微弧度

X向上的偏轉(zhuǎn)角：±20微弧度

Y向上的偏轉(zhuǎn)角：±10微弧度

θY向上的傾斜（Z向運(yùn)動）：±10微弧度

應(yīng)用領(lǐng)域：
光子學(xué)/集成光學(xué)

顯微操縱

生物技術(shù)

半導(dǎo)體測試

光纖定位

型號：P-611.3OF

主動軸：X、Y、Z

-20至120 伏時的開環(huán)行程：120/軸微米

行程，閉環(huán)：–微米

分辨率，開環(huán)：0.2納米

分辨率，閉環(huán)：–納米

線性誤差：–%

重復(fù)精度：–納米

X、Y向上的螺距：±5微弧度

θX向上的傾斜（Z向運(yùn)動）：±10微弧度

X向上的偏轉(zhuǎn)角：±20微弧度

Y向上的偏轉(zhuǎn)角：±10微弧度

θY向上的傾斜（Z向運(yùn)動）：±10微弧度

剛度：0.3牛/微米

X/Y/Z向上的空載諧振頻率：350/220/250赫茲

帶30克負(fù)載時X/Y/Z向上的諧振頻率：270/185/230赫茲

帶100克負(fù)載時X/Y/Z向上的諧振頻率：180/135/200赫茲

負(fù)載容量：15牛

德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺 壓電陶瓷系統(tǒng) 納米定位系統(tǒng) P-611.3OF